日本批准台积电3nm芯片生产计划，但EUV设备短缺限制了产量

日本经济产业省（METI）批准了台积电（TSMC）在熊本县的3nm芯片生产设施修订计划，由于极紫外光（EUV）光刻技术的短缺，将月产量从48,000片晶圆减少至6,000片晶圆。

为什么重要. 减少的产能反映了EUV设备在3nm制造中的关键作用以及全球对这些有限设备的竞争，影响了台积电的生产能力。